GB/T21287-2007电子工业用气体三氟化氮

本标准规定了瓶装电子工业用气体---三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。本标准适用于电子工业用三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺等离子体刻蚀剂和化学气相沉积的清洗剂。

标准号：GB/T 21287-2007

标准名称：电子工业用气体三氟化氮

英文名称：Gases for electronic industry—Nitrogen trifluoride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：2007-12-14

实施日期：2008-07-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：被GB/T 21287-2021代替

起草单位：湖北沙隆达天门农化有限责任公司、中国船舶重工集团公司第七一八研究所、核工业理化工程研究院特气中心、中核红华特种气体股份有限公司、黎明化工研究院等

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会(SAC/TC 20

发布单位：国家质量监督检验检疫