GB/T20726-2015微束分析电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法

本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X-射线能谱仪（EDS）特性最重要的性能参数。本标准仅适用基于固态电离原理的半导体探测器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程，在ISO 22309和 ASTM E1508 中已有规范，不在本标准范围之内。

标准号：GB/T 20726-2015

标准名称：微束分析 电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法

英文名称：Microbeam analysis—Selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2015-10-09

实施日期：2016-09-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>化工综合>>G04基础标准与通用方法

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104099有关化学分析方

替代以下标准：替代GB/T 20726-2006

起草单位：中国科学院地质与地球物理研究所。

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布单位：国家质量监督检验检疫