GB/T20307-2006纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

本标准规定了用扫描电镜测量纳米级长度的基本原则。适用于测量10nm-500nm的点或线的间距。

标准号：GB/T 20307-2006

标准名称：纳米级长度的扫描电镜测量方法通则

英文名称：General rules for nanometer-scale lengthmeasurement by SEM

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2006-07-19

实施日期：2007-02-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器

国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>17040 长度和角度测量 成像技术>>37020光学设备

起草单位：中国科学院地质与地球物理研究所、同济大学，中国科学院化学所，中国地质科学院矿产资源研究所，上海理工大学

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫