GB/T18867-2014电子工业用气体六氟化硫

本标准规定了六氟化硫的技术要求、试验方法、标志、包装、贮存及安全等。本标准适用于硫与氟直接反应并经精制和纯化制备的六氟化硫。该产品主要用作电子工业中化学气相沉积室的清洗剂和等离子蚀刻剂等。分子式:SF6。相对分子质量:1460564192(按2007年国际相对原子质量计算)。

标准号：GB/T 18867-2014

标准名称：电子工业用气体 六氟化硫

英文名称：Gases for electronic industry—Sulphur hexaflouride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-12-22

实施日期：2015-07-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：替代GB/T 18867-2002

起草单位：黎明化工研究设计院有限责任公司、成都科美特氟业塑胶有限公司、青海信禾高精化工有限公司、佛山市华特气体有限公司、四川众力氟业有限责任公司等

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

发布单位：国家质量监督检验检疫