GB/T18193-2000真空技术质谱检漏仪校准

本标准规定了质谱检漏仪的校准程序。它仅适用于校准将灵敏件处于高真空系统中的检漏仪。因此这个方法没有制订完整的验收试验。本标准规定探索气体使用氦-4。但在适当的预防措施下，可以使用其他探索气体，如氩-40。本标准的应用受到检漏仪不能测定小于10-12Pa·m3·s-1漏率漏孔限制。本标准程序提出了测定最小可检漏率和最小可检浓度比的两个要点。它分别应用于高真空和压力大于一个大气压的检漏仪上。

标准号：GB/T 18193-2000

标准名称：真空技术 质谱检漏仪校准

英文名称：Vacuum technology--Mass-spectrometer-type leak detector calibration

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2000-09-02

实施日期：2001-02-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

国际标准分类号（ICS）：流体系统和通用件>>23160真空技术

起草单位：沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

发布单位：国家质量技术监督局