GB/T17874-1999电子工业用气体三氯化硼

本标准规定了电子工业用三氯化硼气体的要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、蒸馏的方法提纯制得的三氯化硼，主要用于电子工业硅半导体器件和集成电路生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

标准号：GB/T 17874-1999

标准名称：电子工业用气体 三氯化硼

英文名称：Gases for electronic industry--Boron trichloride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1999-09-01

实施日期：2000-06-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：被GB/T 17874-2010代替

起草单位：光明化工研究设计院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家质量技术监督局