GB/T17874-2010电子工业用气体　三氯化硼

本标准规定了三氯化硼的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以粗制三氯化硼为原料，采用吸附、精馏等方法提纯制得的三氯化硼，主要用于半导体器件生产所用的扩散、离子注入、干法蚀刻等工艺。

标准号：GB/T 17874-2010

标准名称：电子工业用气体　三氯化硼

英文名称：Gases for electronic industry-Boron trichloride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：2011-04-01

实施日期：2011-05-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：被GB/T 17874-2021代替;替代GB/T 17874-1999

起草单位：西南化工研究设计院、上海华爱色谱分析技术有限公司、光明化工研究设计院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会(SAC/T

发布单位：国家质量监督检验检疫