GB/T16945-2009电子工业用气体氩

本标准规定了氩的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压,它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。

标准号：GB/T 16945-2009

标准名称：电子工业用气体 氩

英文名称：Gas for electronic industry—Argon

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：替代GB/T 16945-1997

起草单位：北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会

发布单位：国家质量监督检验检疫