GB/T16944-1997电子工业用气体氮

本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。

标准号：GB/T 16944-1997

标准名称：电子工业用气体 氮

英文名称：Gases for electronic industry--Nitrogen

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1997-08-13

实施日期：1998-05-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：被GB/T 16944-2009代替

起草单位：化学工业部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局