GB/T16943-1997电子工业用气体氦

标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦，在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气，也用作载气和保护气等。

标准号：GB/T 16943-1997

标准名称：电子工业用气体 氦

英文名称：Gases for electronic industry--Helium

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1997-08-13

实施日期：1998-05-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：被GB/T 16943-2009代替

起草单位：化学工业部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局