GB/T16880-1997光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

本准则的范围是制定有关光掩模缺陷分类用的标准术语，并规定缺陷大小的表达方法。确定光掩模缺陷时应遵循这个准则。

标准号：GB/T 16880-1997

标准名称：光掩模缺陷分类和尺寸定义的准则

英文名称：Guidelines for photomask defect classification and size definition

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1997-06-20

实施日期：1998-03-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子工业生产设备>>L97加工专用设备

国际标准分类号（ICS）：电子学>>31020电子元件综合

起草单位：中国科学院微电子中心

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局