GB/T16596-1996确定晶片坐标系规范

本标准规定了利用晶片中心作为极坐标或直角坐标的原点，可用于确定晶片上任意一点位置的晶片坐标系。

标准号：GB/T 16596-1996

标准名称：确定晶片坐标系规范

英文名称：Specification for establishing a wafer coordinate system

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1996-01-01

实施日期：1997-04-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：被GB/T 16596-2019代替

起草单位：中国有色金属工业总公司

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局