GB/T16594-1996微米级长度的扫描电镜测量方法

本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量05～10μm的长度，也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。

标准号：GB/T 16594-1996

标准名称：微米级长度的扫描电镜测量方法

英文名称：Micron grade lenght measurement by SEM

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1996-01-01

实施日期：1997-04-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器

国际标准分类号（ICS）：计量学和测量、物理现象>>长度和角度测量>>1704001长度和角度测量综合

替代以下标准：被GB/T 16594-2008代替

起草单位：上海市测试技术研究所

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局