GB/T16595-1996晶片通用网格规范

本标准规定了可用于定量描述公称圆形半导体晶片表面缺陷的网格图形。

标准号：GB/T 16595-1996

标准名称：晶片通用网格规范

英文名称：Specification for a universal wafer grid

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1996-01-01

实施日期：1997-04-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：被GB/T 16595-2019代替

起草单位：中国有色金属工业总公司

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局