GB/T16594-2008微米级长度的扫描电镜测量方法通则

本标准代替GB/T 16594-1996《微米级长度的扫描电镜测量方法》。本标准规定了微米级长度的扫描电镜测量方法的通用原则。本标准与GB/T 16594-1996相比主要变化如下：———将“测量方法”改为“测量方法通则”；———将“误差分析”改为“不确定度评定”；———增加样品变形产生的不确定度评定；———改用实验方法获取图像测量的瞄准不确定度量值；———增加“被测长度方向的调整”附录。

标准号：GB/T 16594-2008

标准名称：微米级长度的扫描电镜测量方法通则

英文名称：General rules for measurement of length in micron scale by SEM

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2008-09-18

实施日期：2009-05-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>物质成分分析仪器与环境监测仪器>>N53电化学、热化学、光学式分析仪器

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>分析化学>>7104099有关化学分析方

替代以下标准：替代GB/T 16594-1996

起草单位：上海理工大学、上海宝能源技术有限公司、同济大学、上海市计量测试技术研究院、中国船舶重工集团公司第研究所。

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫