GB/T15909-2009电子工业用气体硅烷(SiH4)

本标准规定了硅烷气体的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。

标准号：GB/T 15909-2009

标准名称：电子工业用气体 硅烷(SiH4)

英文名称：Gas for electronic industry—Silane

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：替代GB/T 15909-1995;被GB/T 15909-2017代替

起草单位：浙江大学材化学院半导体材料研究所、西南化工研究设计院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会

发布单位：国家质量监督检验检疫