GB/T1554-1995硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

本标准规定了用择优腐蚀技术检验硅晶体完整性的方法。

标准号：GB/T 1554-1995

标准名称：硅晶体完整性化学择优腐蚀检验方法

英文名称：Test method for crystallographic perfection of silicon by preferential etch techniques

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1995-04-18

实施日期：1995-12-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H26金属无损检验方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704030金属材料化学分析

替代以下标准：GB 1554-1979;GB 4057-1983;被GB/T 1554-2009代替

起草单位：峨嵋半导体材料厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局