GB/T14851-2009电子工业用气体磷化氢

本标准规定了电子工业用磷化氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。它主要用于半导体器件和集成电路生产的外延、离子注入和掺杂。

标准号：GB/T 14851-2009

标准名称：电子工业用气体 磷化氢

英文名称：Gas for electronic industry—Phosphine

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：替代GB/T 14851-1993

起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院、大连光明化工研究院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫