GB/T14851-1993电子工业用气体磷化氢

本标准规定了磷化氢产品的技术要求、试验方法、检验规则、安全要求以及包装、标志、运输与贮存。本标准适用于亚磷酸热分解、磷化物水解、单质磷与水或碱反应等方法获得并经精制得到的磷化氢产品。

标准号：GB/T 14851-1993

标准名称：电子工业用气体 磷化氢

英文名称：Gas for electronic industry－Phosphine

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-01-02

实施日期：1994-10-01

中国标准分类号（CCS）：>>>>G87

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：被GB/T 14851-2009代替

起草单位：化工部光明化工研究所

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局