GB/T14604-2009电子工业用气体氧

本标准规定了电子工业用氧的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法、电解法提取的气态或液态氧,以及经纯化方法得到的氧。它们主要用于二氧化硅化学气相淀积,用作氧化源和生产高纯水的反应剂,用于等离子体蚀刻和剥离、光导纤维。

标准号：GB/T 14604-2009

标准名称：电子工业用气体 氧

英文名称：Gas for electronic industry—Oxygen

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-05-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：替代GB/T 14604-1993

起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫