GB/T14604-1993电子工业用气体氧

本标准规定了电子工业用气体氧和散装液态氧的技术要求，检验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。电子工业用氧主要用于二氧化硅化学气相淀积，用作氧化源和生产高纯水的反应剂，用于等离子体蚀刻和剥离。也可用于光导纤维。

标准号：GB/T 14604-1993

标准名称：电子工业用气体 氧

英文名称：Gases for electronic industry Oxygen

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-08-26

实施日期：1994-07-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：被GB/T 14604-2009代替

起草单位：化工部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局