GB/T14602-2014电子工业用气体氯化氢

本标准规定了氯化氢的技术要求、试验方法、标志、包装、贮运及安全。本标准适用于以工业氯化氢为原料,采用纯化制得的氯化氢产品。该产品主要用于微电子工业中气相抛光、外延和刻蚀工艺,也可用于硬质合金、玻璃表面处理、医药中间体和精细化学品制造、科学研究等领域。分子式:HCl。相对分子质量:36458(按2009年国际相对原子质量计算)。

标准号：GB/T 14602-2014

标准名称：电子工业用气体 氯化氢

英文名称：Gases for electronic industry—Hydrogen chloride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2014-12-22

实施日期：2015-07-01

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：替代GB/T 14602-1993;GB/T 24469-2009

起草单位：北京华宇同方化工科技开发有限公司、西南化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、光明化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟科技有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

发布单位：国家质量监督检验检疫