GB/T14602-1993电子工业用气体氯化氢

本标准规定了氯化氢的技术要求、检验方法、检验规则以及包装、标志、运输、贮存和安全要求。本标准适用于以氢、氯为原料合成的氯化氢和以工业氯化氢为原料经净化制得的瓶装液态氯化氢。氯化氢主要用于电子工业，在集成电路生产中用于蚀刻、钝化、外延等工艺。也可用于金属冶炼、光导通讯和科学研究等领域。

标准号：GB/T 14602-1993

标准名称：电子工业用气体 氯化氢

英文名称：Gases for electronic industry Hydrogen chloride

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1993-08-26

实施日期：1994-07-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>化工产品>>7110020工业气体

替代以下标准：被GB/T 14602-2014代替

起草单位：化工部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局