GB/T13389-1992掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

本标准规定了23℃时掺硼掺磷硅单晶电阻率和掺杂剂浓度间的换算方法。本标准适用于掺杂剂浓度1012～1021cm-3(电阻率00001~10，000Ω·cm)掺硼硅单晶和1012~5×1020cm-3(电阻率00002~4,000Ω·cm)掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度的换算，也可扩展到硅中激活能与硼、磷相似的其他掺杂剂。

标准号：GB/T 13389-1992

标准名称：掺硼掺磷硅单晶电阻率与掺杂剂浓度换算规程

英文名称：Practice for conversion between resistivity and dopant density for boron-doped and phosphorus-doped silicon

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1992-02-19

实施日期：1992-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：2904030

替代以下标准：被GB/T 13389-2014代替

起草单位：峨嵋半导体材料研究所

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局