GB/T13387-1992电子材料晶片参考面长度测量方法

本标准规定了电子材料晶片参考面长度的测量方法。本标准适用于测量各种直径的硅抛光片、研磨片和切割片的参考面长度。也适用于测量砷化镓、蓝宝石和钆镓石榴石等材料晶片的参考面长度。

标准号：GB/T 13387-1992

标准名称：电子材料晶片参考面长度测量方法

英文名称：Test method for measuring flat length on slices of electronic materials

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1992-02-19

实施日期：1992-10-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

国际标准分类号（ICS）：2904030

替代以下标准：被GB/T 13387-2009代替

起草单位：北京有色金属研究总院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局