GB/T12964-2003硅单晶抛光片

本标准规定了硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。

标准号：GB/T 12964-2003

标准名称：硅单晶抛光片

英文名称：Monocrystalline silicon polished wafers

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：2003-06-01

实施日期：2004-01-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：GB/T 12964-1996;被GB/T 12964-2018代替

起草单位：洛阳单晶硅厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫