GB/T12964-1996硅单晶抛光片

标准号:GB/T 12964-1996
标准名称:硅单晶抛光片
英文名称:Monocrystalline silicon polished wafers
标准类型:国家标准
标准性质:推荐性
标准状态:作废
发布日期:1996-11-04
实施日期:1997-04-01
中国标准分类号(CCS):冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料
国际标准分类号(ICS):电气工程>>29045半导体材料
替代以下标准:GB 12964-1991;被GB/T 12964-2003代替
