GB/T12963-2014电子级多晶硅

2025-06-29

本标准规定了多晶硅的要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、储存、质量证明书和订货单(或合同)内容。本标准适用于以氯硅烷、硅烷制得的多晶硅。

标准号:GB/T 12963-2014

标准名称:电子级多晶硅

英文名称:Electronic-grade polycrystalline silicon

标准类型:国家标准

标准性质:推荐性

标准状态:现行

发布日期:2014-12-31

实施日期:2015-09-01

中国标准分类号(CCS):冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

国际标准分类号(ICS):电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准:替代GB/T 12963-2009

起草单位:峨嵋半导体材料研究所、四川新光硅业科技有限责任公司、有研半导体材料股份有限公司、江苏中能硅业科技发展有限公司、新特能源股份有限公司、洛阳中硅高科技有限公司

归口单位:半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)和全国半导

发布单位:国家质量监督检验检疫

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