GB/T12963-2009硅多晶

本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、运输、贮存。本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的硅多晶。

标准号：GB/T 12963-2009

标准名称：硅多晶

英文名称：Specification for polycrystalline silicon

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：2009-10-30

实施日期：2010-06-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：GB/T 12963-1996;被GB/T 12963-2014代替

起草单位：峨眉半导体材料厂

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫