GB/T12963-1996硅多晶

本标准规定了硅多晶的产品分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输、贮存。本标准适用于以三氯氢硅或四氯化硅用氢还原法制得的半导体级硅多晶。产品主要用于制备硅单晶。

标准号：GB/T 12963-1996

标准名称：硅多晶

英文名称：Polycrystalline silicon

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1996-01-01

实施日期：1997-04-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

国际标准分类号（ICS）：电气工程>>29045半导体材料

替代以下标准：替代GB 12963-1991;被GB/T 12963-2009代替

起草单位：峨嵋半导体材料厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布单位：国家技术监督局