GB/T11446.9-1997电子级水中微粒的仪器测试方法

本标准规定了电子级水中微粒的仪器测定方法。本标准适用于电子级水中微粒的连续式或单次检测计数，测定的粒径大于或等于05μm，微粒的浓度为(0～10 000)个/mL。

标准号：GB/T 114469-1997

标准名称：电子级水中微粒的仪器测试方法

英文名称：Test method for particles in electronic grade water by instrument

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1997-09-01

实施日期：1998-09-01

中国标准分类号（CCS）：电子元器件与信息技术>>电子设备专用材料、零件、结构件>>L90电子技术专用材料

国际标准分类号（ICS）：31030

替代以下标准：GB 114469-1989;被GB/T 114469-2013代替

起草单位：中国科学院半导体研究所

归口单位：信息产业部（电子）

发布单位：国家技术监督局