GB/T11164-1999真空镀膜设备通用技术条件

本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在１０－１～１０－３Ｐａ范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。

标准号：GB/T 11164-1999

标准名称：真空镀膜设备通用技术条件

英文名称：Vacuum coating plant generic specification

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1999-04-08

实施日期：1999-09-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

国际标准分类号（ICS）：流体系统和通用件>>23160真空技术

替代以下标准：GB/T 11164-1989;被GB/T 11164-2011代替

起草单位：上海通用机械研究所

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

发布单位：国家质量技术监督局