GB/T11164-2011真空镀膜设备通用技术条件

本标准规定了真空镀膜设备的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存等要求。本标准适用于压力在10-5 Pa~10-3 Pa范围的真空蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。

标准号：GB/T 11164-2011

标准名称：真空镀膜设备通用技术条件

英文名称：Vacuum coating plant generic specification

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2011-11-21

实施日期：2012-06-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用零部件>>J18链传动、皮带传动与键联结

国际标准分类号（ICS）：流体系统和通用件>>23160真空技术

替代以下标准：替代GB/T 11164-1999

起草单位：北京北仪创新真空技术有限责任公司、上海曙光机械制造厂有限公司、兰州真空设备有限责任公司、成都南光机器有限公司等

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)

发布单位：国家质量监督检验检疫