GB/T11073-2007硅片径向电阻率变化的测量方法

本标准规定了用直排四探针法测量硅片径向电阻率变化的方法。

标准号：GB/T 11073-2007

标准名称：硅片径向电阻率变化的测量方法

英文名称：Standard method for measuring radial resistivity variation on silicon slices

标准类型：国家标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2007-12-18

实施日期：2008-02-01

中国标准分类号（CCS）：冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

国际标准分类号（ICS）：冶金>>金属材料试验>>7704001金属材料试验综合

替代以下标准：替代GB/T 11073-1989

起草单位：峨嵋山半导体材料厂

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会

发布单位：国家质量监督检验检疫