SANS14644-2-2003无尘室和有关受控环境.第2部分:确保持续符合ISO14644-1的测试和监控规范

标准号:SANS 14644-2-2003
标准名称: 无尘室和有关受控环境.第2部分:确保持续符合ISO 14644-1的测试和监控规范
英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1
标准类型:国外标准
标准状态:现行
中国标准分类号(CCS):C47
国际标准分类号(ICS):1304035
