SANS14644-2-2003无尘室和有关受控环境.第2部分:确保持续符合ISO14644-1的测试和监控规范

2026-02-07

标准号:SANS 14644-2-2003

标准名称: 无尘室和有关受控环境.第2部分:确保持续符合ISO 14644-1的测试和监控规范

英文名称:Cleanrooms and associated controlled environments Part 2: Specifications for testing and monitoring to prove continued compliance with ISO 14644-1

标准类型:国外标准

标准状态:现行

中国标准分类号(CCS):C47

国际标准分类号(ICS):1304035

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