NFC96-050-1-2016半导体装置.微型机电装置.第1部分:术语和定义

标准号：NFC 96-050-1-2016

标准名称： 半导体装置微型机电装置第1部分:术语和定义

英文名称：Semiconductor devices - Micro-electromechanical devices - Part 1 : terms and definitions

标准类型：国外标准

标准状态：现行

发布日期：2016-11-05

实施日期：2016-11-05

中国标准分类号（CCS）：L94

国际标准分类号（ICS）：3108099