KSD0261-2012镜面硅片的外观检验

标准号：KSD 0261-2012

标准名称： 镜面硅片的外观检验

英文名称：Visual inspection for silicon wafers with specular surfaces

标准类型：国外标准

标准状态：现行

发布日期：2012-05-17

实施日期：2012-05-17

中国标准分类号（CCS）：H81

国际标准分类号（ICS）：7712099