DIN32567-3-2014微型系统生产设备.材料对光学和触觉尺寸测量的影响的测定.第3部分:触觉测量设备校正值的推导

标准号：DIN 32567-3-2014

标准名称： 微型系统生产设备 材料对光学和触觉尺寸测量的影响的测定 第3部分: 触觉测量设备校正值的推导

英文名称：Production equipment for microsystems - Determination of the influence of materials on the optical and tactile dimensional metrology - Part 3: Derivation of correction values for tactile measuring devices

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：N04

国际标准分类号（ICS）：39020