DIN32566-2007微型系统用生产设备.X射线光刻掩膜支持环用规范

标准号：DIN 32566-2007

标准名称： 微型系统用生产设备X射线光刻掩膜支持环用规范

英文名称：Production equipment for microsystems - Specification for an X-Ray Lithography Mask Support Ring

标准类型：国外标准

标准状态：现行

中国标准分类号（CCS）：N38

国际标准分类号（ICS）：31020