DIN32564-1-2004微系统用制造设备.术语和定义.第1部分:微系统技术的一般术语
标准号：DIN 32564-1-2004
标准名称： 微系统用制造设备术语和定义第1部分:微系统技术的一般术语
英文名称：Production equipment for micro-systems - Terms and definitions - Part 1: General terms of micro-system technology
标准类型：国外标准
标准状态：现行
中国标准分类号（CCS）：N04
国际标准分类号（ICS）：39020
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