HG/T4509-2013工业高纯氢氟酸

本标准规定了工业高纯氢氟酸的分级、要求、试验方法、检验规则、标志、标签、包装、运输、贮存和安全。本标准适用于工业高纯氢氟酸。该产品主要应用于太阳能光伏电池、液晶显示器件、集成电路和超大规模集成电路芯片的清洗、蚀刻，以及作为生产其他高纯氟化物的原料等。

标准号：HG/T 4509-2013

标准名称：工业高纯氢氟酸

英文名称：High purity hydrofluoric acid for industrial use

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2013-10-17

实施日期：2014-03-01

中国标准分类号（CCS）：化工>>无机化工原料>>G11无机酸、碱

国际标准分类号（ICS）：化工技术>>无机化学>>7106030酸

起草单位：浙江凯恒电子材料有限公司 等

归口单位：田志扬 等

发布单位：工业和信息化部