HG/T5962-2021硅片切割废液处理处置方法

本文件规定了硅片切割废液（浆）的组成、处理处置方法、环保排放要求。本文件适用于硅片切割生产线产生的切割废液（浆）的处理处置。

标准号：HG/T 5962-2021

标准名称：硅片切割废液处理处置方法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2021-08-21

实施日期：2022-02-01

发布单位：工业和信息化部