JB/T10553-2006真空技术扩散硅压阻真空计

本标准规定了扩散硅压阻真空计的分类、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、包装和贮存等。

标准号：JB/T 10553-2006

标准名称：真空技术 扩散硅压阻真空计

英文名称：Vacuum technology-Piezoresistive silicon chip vacuum gauge

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2006-05-06

实施日期：2006-10-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

国际标准分类号（ICS）：流体系统和通用件>>23160真空技术

替代以下标准：J78

起草单位：沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标委会

发布单位：国家发展和改革委员会