JB/T12585-2016真空技术磁悬浮分子泵
本标准规定了磁悬浮分子泵的型式和基本参数,技术要求,测试方法,检验规则,标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于具有前级泵的磁悬浮分子泵。
标准号:JB/T 12585-2016
标准名称:真空技术 磁悬浮分子泵
英文名称:Vacuum technology—Magnetic levitated turbomolecular pump
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2016-01-15
实施日期:2016-06-01
中国标准分类号(CCS):机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备
国际标准分类号(ICS):流体系统和通用件>>23160真空技术
起草单位:北京中科科仪股份有限公司、合肥智海光电技术有限公司、川北真空科技(北京)有限公司、东莞劲胜精密组件股份有限公司、沈阳真空技术研究所
归口单位:全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
发布单位:工业和信息化部