JB/T13872-2020平面相移干涉仪
本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式与基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本标准适用于利用微位移机构检验光学平面的面形偏差和平面平晶平面度的平面相移干涉仪。
标准号：JB/T 13872-2020
标准名称：平面相移干涉仪
标准类型：行业标准
标准性质：推荐性
标准状态：现行
发布日期：2020-04-16
实施日期：2021-01-01
发布单位：工业和信息化部
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