JB/T4082-1991溅射离子泵技术条件

本标准规定了普通型式溅射离子泵的技术要求、检验规则、试验方法、包装、贮存等。本标准适用于JB/T 4081所规定的二极型(L型)和三极型(3L型)的溅射离子泵(以下简称泵)。

标准号：JB/T 4082-1991

标准名称：溅射离子泵 技术条件

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：作废

发布日期：1991-07-22

实施日期：1992-07-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

替代以下标准：JB 4082-1985;被JB/T 4081-2011代替

起草单位：机械电子工业部沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

发布单位：国家机械工业局