JB/T5631-1991半导体器件外延炉能耗标准

本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。

标准号：JB/T 5631-1991

标准名称：半导体器件外延炉 能耗标准

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1991-08-27

实施日期：1992-07-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>机械综合>>J01技术管理

替代以下标准：公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2017年(第23号)

起草单位：国营北京七七四厂

归口单位：机械电子工业部机械标准化研究所

发布单位：机械电子工业部