JB/T6842-1993扫描电子显微镜试验方法

本标准规定了扫描电子显微镜的试验方法。本标准适用于扫描电镜主机性能的试验。

标准号：JB/T 6842-1993

标准名称：扫描电子显微镜 试验方法

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：1993-07-09

实施日期：1994-01-01

中国标准分类号（CCS）：仪器、仪表>>光学仪器>>N33电子光学与其他物理光学仪器

替代以下标准：ZB Y340-85;公告：中华人民共和国工业和信息化部公告 2017年(第23号)

起草单位：上海电子光学技术研究所

归口单位：上海电子光学技术研究所

发布单位：机械工业部