JB/T8946-2010真空离子镀膜设备

本标准规定了真空离子镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备；电子束蒸发离子镀膜设备；磁控溅射离子镀膜设备；上述三类离子镀膜设备的组合。其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。

标准号：JB/T 8946-2010

标准名称：真空离子镀膜设备

英文名称：Vacuum ion coating plant

标准类型：行业标准

标准性质：推荐性

标准状态：现行

发布日期：2010-02-11

实施日期：2010-07-01

中国标准分类号（CCS）：机械>>通用机械与设备>>J78真空技术与设备

国际标准分类号（ICS）：流体系统和通用件>>23160真空技术

替代以下标准：替代JB/T 8946-1999

起草单位：沈阳北宇真空设备厂;沈阳真空技术研究所

归口单位：全国真空技术标委会

发布单位：工业和信息化部