JC/T1048-2018单晶硅生长用石英坩埚
本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于用高纯石英砂做原料,采用电弧法工艺生产,应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。
标准号:JC/T 1048-2018
标准名称:单晶硅生长用石英坩埚
标准类型:行业标准
标准性质:推荐性
标准状态:现行
发布日期:2018-10-22
实施日期:2019-04-01
替代以下标准:替代JC/T 1048-2007
发布单位:工业和信息化部